Next Generation Advanced litho solutions - towards 7

Projectsamenvatting

Projectnummer IPCEI_ME_2023_02
Rijksbijdrage € 95.990.876,00
Locatie Nederland
Jaar 2023
Subsidieregeling Important Project of Common European Interest (IPCEI)
Sectoren Halfgeleiders
Aanvrager ASML Netherlands B.V.