Next Generation Advanced litho solutions - towards 7
Projectsamenvatting
Projectnummer
IPCEI_ME_2023_02
Rijksbijdrage
€
95.990.876,00
Locatie
Nederland
Jaar
2023
Subsidieregeling
Important Project of Common European Interest (IPCEI)
Sectoren
Halfgeleiders
Aanvrager
ASML Netherlands B.V.