Regio Zuid | Active Inertial Damper

Aangezien de precisieapparaten voor onder andere lithografie en medische toepassingen steeds nauwkeuriger worden, worden ook de eisen die gesteld worden aan de maximaal toegestane trillingen steeds stringenter. In dit haalbaarheidsonderzoek wil Mecal Semiconductor Product Development (SPD) onderzoeken of de trillingen kunnen worden weggenomen middels een Active Inertial Damper (AID). Met dit systeem zou het mogelijk moeten worden om de gehele vloer "stil te zetten" zodat het precisieapparaat ook stilstaat. Het principe van de AID is enigszins vergelijkbaar met anti-geluid en tuned mass dampers die in specifieke gevallen gebruikt worden om trillingsproblemen op te lossen. De AID is beter geschikt om trillingsproblemen in onder andere chipfabrieken, medische laboratoria en precisie chirurgie wereldwijd op te lossen. De AID zal door de actieve besturing niet beperkt worden tot het dempen van 1 frequentie, hetgeen een belangrijke beperking is van tuned mass dampers, maar kan meerdere frequenties verwerken. De haalbaarheidsstudie richt zich op de volgende technische en economische knelpunten:.- Het is een uitdaging om een breed spectrum aan trillingen te meten en compenseren..- Inzetten van de anti-trilling moet op het juiste moment gebeuren om het gewenste effect te bereiken..- Het opwekken van een trilling in een vloer vereist veel massa, de uitdaging het zoeken naar een oplossing waar met zo min mogelijk massa een zo groot mogelijk spectrum aan trillingen gereduceerd kan worden..- Ontwikkeling van een nieuwe trillingdemper vergt veel manuren en investering in materiaalkosten, aangezien het potentieel nog niet bewezen is brengt dit economisch risico met zich mee. De doelstelling van het project is het onderzoeken van de haalbaarheid van een te ontwikkelen systeem dat trillingen (met uiteenlopende frequenties en amplitudes) in de vloer kan opheffen door middel van het actief genereren van 'anti-trillingen'.