Regio Zuid-Holland | CFD bij lage drukken

Tijdens een ontwerpproces wordt vandaag de dag steeds meer gebruik gemaakt van computersimulaties. Het simuleren gas- en vloeistofstromen met behulp van een computer wordt Computataional Fluid Dynamics (CFD) genoemd. Simulatie van stromingen wordt gedaan om een idee te krijgen van bepaalde stromingseigenschappen, zoals warmtetransport, drukval en stroomsnelheden. Wanneer de druk in een stroming zeer laag is, denk aan bijna vacuüm, dan geven de meest efficiënte stromingsmodellen die gebaseerd op partiele differentiaalvergelijkingen, geen voldoende nauwkeurige beschrijving van de stromingseigenschappen. Dit is een fundamenteel probleem bij het ontwerpproces van systemen waarin lage drukken voorkomen; Denk bijvoorbeeld aan de nieuwe generatie EUV lithografiesystemen die bij ASML worden ontwikkeld. Alternatieve modellen, veelal gebaseerd op discrete deeltjes, zijn inefficiënt en vertragen de ontwikkeling van de EUV systemen. Sinds 2006 wordt door Prof. Dr. Ir. E. H. van Brummelen onderzoek gedaan naar efficiënte stromingsmodellen voor stromingen bij lage drukken. Recente simulatieresultaten laten zien dat er grote vooruitgang is geboekt in de ontwikkeling van efficiënte modellen voor stromingen bij lage drukken. [Aanvrager/Partner] is betrokken bij de implementatie van deze nieuwe modellen. Middels een haalbaarheidsstudie wil Evalf onderzoeken of het nieuw ontwikkelde model klaar is voor een industriële toepassing.