Regio Zuid-Holland | HT AFM Hard Disk

Nearfield Instruments (NFI) heeft als doel van het project om d.m.v. “Atomic Force Microscopy” (AFM) technologie een high-throughput metrologiesysteem te ontwikkelen voor procescontrole tijdens de productie van geavanceerde hard disks. AFM is een technologie die vaak wordt toegepast in wetenschappelijk onderzoek. Een AFM-systeem maakt gebruik van een atoomscherpe tip om de topologie van het onderzochte monster zoals een wafer voor chips te scannen zonder contact te maken. AFM werd echter altijd te langzaam beschouwd voor industriële toepassingen, maar door NFI is deze techniek nu succesvol ontwikkeld voor gebruik in het productieproces van geavanceerde Intregated Circuits (IC). NFI wil via deze haalbaarheidsstudie onderzoeken of deze High-Throughput AFM (HT-AFM) technologie ook ontwikkeld en toegepast kan worden voor het hard disk-productieproces.