Regio Zuid | Verwerking van Piranhaoplossing

Chipfabrikanten ontkomen er niet aan om in hun productieproces gebruik te maken van zeer schadelijk stoffen. In de chips wordt gebruik gemaakt van halfgeleidermateriaal zoals silicium om zogenaamde wafers te maken. Op deze dunne plak materiaal kunnen geïntegreerde schakelingen worden geplaatst. De laatste stap bij het maken van de wafer is deze volledig egaal te maken. Om de laatste resten lithografisch materiaal van wafers te verwijderen wordt een oplossing van geconcentreerd zwavelzuur en peroxide gebruikt, ook wel de “piranhaoplossing” genoemd. In vakliteratuur kan worden gevonden dat een piranhaoplossing met een overmaat peroxide bij kamertemperatuur circa 1 % van zijn zuurstof verliest in 1 jaar. Het natuurlijk laten vervallen van gebruikte piranha oplossing vereist dus een zeer lange opslagtijd, hetgeen niet gewenst is. Het is dus noodzakelijk om een veilige en robuuste methode te ontwikkelen, om gebruikte piranha oplossing actief en gecontroleerd te kunnen neutraliseren tot een handelbare oplossing. Pertracta B.V. denkt daar met de ‘Membrane Contactor’ en bijbehorend proces een oplossing voor gevonden te hebben. Een membrane contactor bestaat uit een aantal gestapelde kunststof frames, waartussen verschillende soorten membranen of folies aangebracht kunnen worden. In de frames zijn doorvoeren aangebracht, die het mogelijk maken om verschillende vloeistoffen of gassen aan beide zijden van het membraan (of folie) te laten lopen, in verschillende richtingen. De kunststof frames worden aan elkaar gelast en vormen zo een gas- en vloeistofdichte verbinding. De membranen en folies worden op hun beurt ook in de frames gelast, via een gepatenteerde methode, waardoor ook hier een gas- of vloeistofdichte verbinding ontstaat. Het membrane contactor ontwerp laat verschillende combinaties van kunststoffen voor de frames, membranen en folies toe, waardoor de contactor dus gericht ontworpen kan worden voor een specifieke toepassing. Doelstelling van dit project is om zowel de technische als economische haalbaarheid van het neutraliseren van piranhazuur door middel van een membrane contactor te onderzoeken. Dit project sluit aan bij Topsector Chemie en kunststoffen en daarbinnen het thema ‘Sluiten van de keten’. Bij dit thema wordt gezocht naar verbetering van scheidingstechnieken. Precies wat er in dit project gebeurt.