Regio Zuid-Holland | Kathodeluminescentie microscopie voor halfgeleider analyse

De productie van nieuwe generatie halfgeleiders wordt steeds complexer: chips worden kleiner en hun rekenkracht neemt toe. In het ontwerpproces worden de features op een chip kleiner, dichter opeengepakt en wordt inmiddels ook de hoogte in gewerkt (3-D architecturen). Over het algemeen geldt dat hoe kleiner de chip er sneller en Energiesectorzuiniger kan worden geproduceerd. Echter door de toename van de ontwerpcomplexiteit neemt de kans op defecten en vertraging in het productieproces toe. Dit komt doordat door het verkleinen van de chipkenmerken het lastiger is om te meten wat er in de chip gebeurt. Dit vraagt om geavanceerde inspectie en karakterisering instrumenten specifiek voor de halfgeleiderindustrie. ..CL Solutions B.V. is onderdeel van het bedrijf Delmic uit Delft. Delmic is een spin-off bedrijf van de TU Delft. In dit project wil Delmic de technische en economische haalbaarheid onderzoeken voor de ontwikkeling van een innovatieve Kathodeluminescentie microscopie voor halfgeleider analyse..Dit project sluit aan bij thema 5 ‘’Sleutel technologieën’’, binnen de MJEP Photonics and Light Technologies.