Regio Zuid | PRO-SALD

Atomic Layer Depostion technology (ALD) is een ultradunne film depositie techniek en welke in de maakindustrie steeds populairder wordt. Vanuit de gasfase wordt een enkele atoomlaag dikke conforme laag neergelegd. Het proces wordt industrieel o.a. toegepast wordt in de zonnecel- en halfgeleider industrie. Nadeel van het traditionele of klassieke ALD proces is dat het een vrij traag vacuüm proces is met vele processtappen die onder strikt vacuüm geschieden. ..SALD b.v. is expert in het industriële Spatial ALD processen (S-ALD), een gepatenteerde variant van dit klassieke ALD proces, met wel 100 tot 300 keer hogere depositiesnelheden. Groot voordeel van deze variant is dat processing onder atmosferische druk kan geschieden. Dergelijke processen worden inmiddels industrieel gebruikt als o.a. passivatielaag op de achterkant van standaard zonnecellen. ..Afgelopen jaren heeft SALD een ontwikkelingsproject voor een nieuwe Spatial ALD depositie kop doorlopen. Deze nieuwe kop wordt middels een speciaal 3D-metaalprint proces met grote precisie geproduceerd. Tevens kan de depositiekop ook in andere metalen geprint worden, waaronder RVS. Het andere grote voordeel van de 3D productiemethode is, dat ook op relatief eenvoudige wijze er aanpassingen aan deze kop gemaakt kan worden, simpelweg door de 3D-tekening aan te passen. Juist deze nieuwe modulaire depositiekop technologie biedt SALD de mogelijkheid om een geheel nieuwe wegen in te gaan slaan. ..SALD wil nu zelf ook het zogeheten Plasma-Enhanced Spatial ALD proces te gaan ontwikkelen. Dat is een variant van haar depositie proces, waardoor de te coaten oppervlakten op andere wijze, in dit geval door een plasma, geactiveerd of geoxideerd worden. Toevoeging van een HF plasma zorgt ervoor dat o.a. procestemperaturen sterk verlaagd kunnen worden, en dat er andere materialen en materiaalklassen middels S-ALD processen gedeponeerd kunnen worden. Zo wordt S-ALD ook geschikt wordt voor o.a. plastic substraten, en daarmee geschikt voor andere toepassingsmarkten. Dit proces moet ontwikkeld worden...Het doel van het PRO-SALD project is het onderzoeken van de technische, commerciële en financiële haalbaarheid van het ontwikkelen van een Plasma Enhanced-Spatial ALD proces, en wel in vormfactor van de nieuwe depositiekop. Hierbij wordt o.a. gekeken naar de mogelijkheid om het benodigde keramiek te 3D- printen. ..In deze studie worden de specifieke technische eisen onderzocht die dit proces aan de depositiekop stelt, en de aanpassingen die aan de SALD tools en bijbehorende systemen moet geschieden om tot een veilig en stabiel Plasma-Enhanced Spatial ALD proces te kunnen komen. . . ..