Multi Electron Beam Technology

pParallelle elektronenbundel technologie. Recent heeft een Delfts bedrijf een elektronenmicroscoop met 64 bundels op de markt gebracht voor bestudering van medisch-biologische preparaten (https://www.delmic.com/en/products/fast-imaging/fast-em). Deze machine is gebaseerd op onderzoek aan de TU Delft. Voor de inspectie van Si-plakken in de chip industrie moet een microscoop nog eens een factor minstens honderd keer sneller data opnemen. In dit project wordt er van zo een nieuwe microscoop een proef opstelling gebouwd om te zien tegen welke problemen we aanlopen. De industriële partner, een andere dan voor de bovengenoemde microscoop, wil gebruik maken van de kennis over de combinatie van optiek, elektronenoptiek, vacuüm, mechatronica, nanotechnologie, computeraansturing en supersnelle dataverwerking die de TU Delft in huis heeft/p