Modular metrology tool for non-destructive metrology and inspection of wafer based IC manufacturing.
Projectsamenvatting
Projectnummer
EUREKA_PENTA_2019_06
Rijksbijdrage
€
389.295,00
Locatie
Nederland
Jaar
2019
Subsidieregeling
Eureka
Aanvrager
Nedinsco B.V.